技術紹介

ダイシング

ダイシング

ダイシング工程では、純水を使って基板、ウェハを切断する湿式ダイシングと、純水を使わず基板を切断する乾式ダイシングに対応可能です。

対応仕様 【湿式ダイシング(基板)】

ダイシング
リングサイズ 6インチ
8インチ矩形リング
基板サイズ 6インチ
MAX : 115 (L) × 73 (W) mm
8インチ矩形 (1枚貼り)
MAX : 150 (L) × 120 (W) mm
8インチ矩形 (2枚貼り)
MAX : 120 (L) × 73 (W) mm
その他サイズについては、ご相談ください

対応仕様 【湿式ダイシング(ウェハ)】

リングサイズ 対応仕様については、ご相談ください
ウェハサイズ

対応仕様 【乾式ダイシング(基板)】

ダイシング
リングサイズ 8インチ矩形リング
基板サイズ MAX : 150 (L) × 120 (W) mm
カットライン幅 MIN : 0.3 mm

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